電極的設計對
大氣等離子清洗機的使用效果有著明顯的影響，主要包括電極的材料、布局和尺寸等因素。對于內電極等離子清洗系統，由于電極暴露在等離子體中，某些材料的電極會被一些等離子體刻蝕或發生濺射現象，造成不必要的污染并導致電極尺寸的變動，進而影響等離子清洗系統的穩定性。
電極的布局對等離子清洗的速度和均勻性有較大影響，較小的電極間距能夠將等離子體限制在狹小的區域從而獲得較高密度的等離子體，實現較快速度的清洗。隨著間距的增加清洗速度逐漸下降但均勻性逐漸增強。
電極的尺寸通常決定了等離子系統的整體容量，在電極平行分布的等離子清洗系統中，電極通常作為托盤使用，較大尺寸的電極能夠一次清洗更多的元器件，提高設備的運行效率。
大氣等離子清洗機常見電極的結構分類：
一般等離子清洗機腔體設計為內置式平板式結構,有利于等離子體的均勻分布,并能通過改變擱板的位置和電極來靈活的改變工作區間的大小和等離子清洗的強度,來適應不同組件的清洗要求。
平板水平電極式等離子清洗機這是常見的電極結構。層與層之間的金屬電極面積相等，等離子體放電比較均勻，電極中間可以放托架，把需要處理的產品放置在托架上，層間距可以調整，電極上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷狀和粉體類的產品或材料不能處理，其它物品都可以。
平板垂直電極式等離子清洗機這種電極結構不是簡單把水平電極改為垂直就可以，層與層之間的金屬電極的間距，等離子體放電的均勻性，電極板的溫控，以及產品或材料的放置問題等，都是要充分考慮的。產品的擺放通常采用兩種方式：電極之間加上夾子或掛鉤來處理物品；在載物車上加夾子和掛鉤來處理物品，一般用于線路板處理。
大氣等離子清洗機電極的材質以及分布大小間距都對等離子清洗效果有一定的影響，在容性耦合等離子產生裝置下，電子密度與極板間距成正比例關系，平均電子溫度與極板間距成反比關系，其均勻性與極板間距成正比關系即隨著間距的增大均勻性變好，合理的電極設計能讓等離子清洗效果更好。
